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全自動清洗設(shè)備（硅基）
不同的獨立濕處理工藝槽（SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry），按照客戶工藝菜單的設(shè)置，機(jī)械手在各工藝槽中進(jìn)行相應(yīng)的工藝處理。適用于單、雙盒硅片的濕法清洗。設(shè)備集成基于SNA專利技術(shù)，用于硅片取干的IPA Dry模塊
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